Web沸点. -82. [ ℃ ] 地球温暖化係数. 14,800 ( CO2 = 1 ) CHF3（HFC-23） トリフルオロメタン (PDF269KB) 記載のトリフルオロメタン (CHF3)のデータや評価に関しては、現時点で入手できた資料や情報に基づいて作成しておりますが、いかなる保証をなすものではありません ... Web反応性イオンエッチング (RIE)とは？ 反応性イオンエッチングの概要 スパッタリング等で基板へ膜を生成しただけでは一面膜で覆われた状態になってしまいます。 カメラのレ …
プラズマ・核融合学会
Web次にsin膜について、エッチングレートはsio2膜の結果と同等 の傾向が得られた。chf3では極端なレート低下がみられた。そ の要因として、h成分がsin膜エッチングを阻害した … WebJan 31, 2024 · エッチング装置の場合、載置台110にはイオンをウエハWに引き込むためのバイアス高周波が印加される。 ... 具体的にはSiO2膜などのシリコン酸化膜をエッチングする場合には、CxFy、CHF3ガスなどのフルオロカーボンガスが処理ガスとして用いられる。 ... famous lynx players
JPH10116816A - ドライエッチング装置 - Google Patents
WebICPプラズマによって主に酸化物を高速にエッチングする装置。ナノメートルオーダーの深さ方向制御が可能。 仕様 ： Specs ・使用ガス:CHF3、C3F8、SF6、C4F8、O2、Ar、He、N2、Air ・試料サイズ:最大4インチ: 説明 ： Guide: 利用にはクリーンルーム利用申請 … WebMay 8, 2009 · プラズマを使わずに， XeF 2 のような反応性ガスを使っても等方性エッチングはできる。 XeF 2 が分解してFラジカルができ，Siと反応してSiF 4 を作り，それが蒸発していく。 XeF 2 によるSiのエッチングは，SiO 2 やフォトレジスト，Al，Crなどのマスクに対して選択性が1000以上と非常に高い。 Web工などに最も一般的に使われているエッチング方 式である。 3.ド ライエッチング用ガスの種類 ドライエッチングの中で,イ オンミ-リ ングな どの化学反応を伴わない物理的なス … copper river float trip